PZT膜を用いたマイクロ超音波メス用振動子の振動速度向上 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	PZT膜を用いたマイクロ超音波メス用振動子の振動速度向上
英文:

著者

和文:	黒澤実, 笹沼健史.
英文:	Minoru Kuribayashi Kurosawa, Takeshi Sasanuma.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	信学技報
英文:

巻, 号, ページ

US2009-43 pp. 31-36

出版年月

2009年9月

出版者

和文:
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会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:	登別グランドホテル
英文:

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