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論文・著書情報


タイトル
和文:超音波浮上式非接触ステージの開発 
英文: 
著者
和文: 小山大介, 中村健太郎.  
英文: Daisuke KOYAMA, KENTARO NAKAMURA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:機械の研究 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 61    No. 11    pp. 1038-1044
出版年月 2009年11月 
出版者
和文:㈱養賢堂 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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