Fabrication Process Improvement of Optical MEMS Switch Using a Belt-shaped Thin Film Mirror

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication Process Improvement of Optical MEMS Switch Using a Belt-shaped Thin Film Mirror

著者

和文:	奥津和俊, 山口岳彦, 佐藤海二.
英文:	Kazutoshi Okutsu, Takehiko Yamaguchi, Kaiji Sato.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of 3rd International Conference of Asian Symposium for Precision Engineering and Nanotechnology

巻, 号, ページ

出版年月

2009年11月

出版者

和文:
英文:	The Japan Society for Precision Engineering

会議名称

和文:
英文:	3rd International Conference of Asian Symposium for Precision Engineering and Nanotechnology

開催地

和文:
英文: