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論文・著書情報


タイトル
和文:放電励起型極端紫外光源の動作機構と課題 
英文:Basic Operational Principle of Discharge driven Extreme Ultraviolet Light Sources 
著者
和文: 堀岡一彦.  
英文: KAZUHIKO HORIOKA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:放電研究 
英文:IEEDJ 
巻, 号, ページ Vol. 52    No. 2    pp. 19-24
出版年月 2009年7月 
出版者
和文:放電学会 
英文: 
会議名称
和文:2009年放電学会シンポジウム 
英文: 
開催地
和文:東京 
英文: 

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