Fundamental Study on Discharge Characteristics   of Nitrogen-Rare Gas Microwave Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fundamental Study on Discharge Characteristics of Nitrogen-Rare Gas Microwave Plasma

著者

和文:	桑野慧, 根津篤, 松浦治明, 赤塚洋.
英文:	Kei Kuwano, Atsushi Nezu, Haruaki Matsuura, Hiroshi Akatsuka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. The 6th Asia-Pacific International Symposium on the Basic and Application of Plasma Technology

巻, 号, ページ

pp. 207-210

出版年月

2009年12月

出版者

和文:
英文:	Minghsin University of Science and Technology

会議名称

和文:
英文:	The 6th Asia-Pacific International Symposium on the Basic and Application of Plasma Technology

開催地

和文:
英文:	Hsinchu, Taiwan, R.O.C.