Ti-Ni-Pd形状記憶スパッタ薄膜の開発とマイクロアクチュエータへの応用

論文・著書情報

タイトル

和文:	Ti-Ni-Pd形状記憶スパッタ薄膜の開発とマイクロアクチュエータへの応用
英文:

著者

和文:	奥津和俊.
英文:	Kazutoshi OKUTSU.

種別

種別:	学位論文(博士)
国名:

言語

学位授与組織

筑波大学

報告番号

学位授与日

2004/--/--

審査員