酸素拡散と熱伝導による非晶質シリカ薄膜の構造の研究 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	酸素拡散と熱伝導による非晶質シリカ薄膜の構造の研究
英文:

著者

和文:	須佐匡裕.
英文:	Masahiro Susa.

種別

種別:	学位論文(博士)
国名:

言語

Japanese

学位授与組織

東京工業大学

報告番号

乙第2095号

学位授与日

1990/09/30

審査員

永田和宏.

ファイル

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