A Study on Micro Patterning Method Using Electrically Controlled Nano-particle Deposition (静電気力を利用したナノパーティクルによるマイクロパターニング手法に関する研究)

論文・著書情報

タイトル

和文:	A Study on Micro Patterning Method Using Electrically Controlled Nano-particle Deposition (静電気力を利用したナノパーティクルによるマイクロパターニング手法に関する研究)
英文:	A Study on Micro Patterning Method Using Electrically Controlled Nano-particle Deposition (静電気力を利用したナノパーティクルによるマイクロパターニング手法に関する研究)

著者

和文:	金俊完.
英文:	Joon-wan KIM.

種別

種別:	学位論文(博士)
国名:

言語

学位授与組織

東京大学

報告番号

学位授与日

2005/--/--

審査員