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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Selection of Rare Earth Silicate with SrO Capping for EOT Scaling below o.5 nm 
著者
和文: 角嶋邦之, 岡本晃一, 小柳友常, 舘喜一, 幸田みゆき, 川那子高暢, 宋在烈, パールハットアヘメト, 筒井一生, 杉井信之, 服部健雄, 岩井洋.  
英文: Kuniyuki KAKUSHIMA, Koichi Okamoto, Tomotsune Koyanagi, Kiichi Tachi, Miyuki Kouda, Takamasa Kawanago, Jaeyeol Song, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         p. 403
出版年月 2009年9月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:ESSDERC 2009, 39th European Solid-State Device Research Conference 
開催地
和文: 
英文:Athens, Greece 

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