Non-catalytic synthesis of nanostructured carbon films by plasma-enhanced CVD using CO as a carbon source gas

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Non-catalytic synthesis of nanostructured carbon films by plasma-enhanced CVD using CO as a carbon source gas

著者

和文:	森伸介, 上野高典, 鈴木正昭.
英文:	Shinsuke Mori, Takanori Ueno, Masaaki Suzuki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of 19th International Symposium on Plasma Chemistry

巻, 号, ページ

p. 544

出版年月

2009年7月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	19th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC19)

開催地

和文:
英文: