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論文・著書情報


タイトル
和文:窒素-希ガス混合マイクロ波プラズマの放電特性に関する基礎研究 
英文:Fundamental Study on Discharge Characteristics of Nitrogen-Rare Gas Microwave Plasma 
著者
和文: 桑野慧, 根津篤, 松浦治明, 赤塚洋.  
英文: Kei Kuwano, Atsushi Nezu, Haruaki Matsuura, Hiroshi Akatsuka.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文:第27回「プラズマプロセシング研究会」(SPP27)プロシーディングス 
英文:Proceedings 27th Symposium on Plasma Processing 
巻, 号, ページ         pp. 177-178
出版年月 2010年2月 
出版者
和文:社団法人 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会 
英文:Division of Plasma Electronics, The Japan Society of Applied Physics 
会議名称
和文:第27回「プラズマプロセシング研究会」(SPP27) 
英文:The 27th Symposium on Plasma Processing 
開催地
和文:横浜市開港記念館 
英文:port Opening Memorial Hall, Yokohama 

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