A flexible electro-rheological microvalve (FERV) based on SU-8 cantilever structures and its application to microactuators

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A flexible electro-rheological microvalve (FERV) based on SU-8 cantilever structures and its application to microactuators

著者

和文:	金俊完, 吉田和弘, 国府田くみ子, 横田眞一.
英文:	Joon-Wan Kim, Kazuhiro Yoshida, Kumiko Kouda, Shinichi Yokota.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Sensors and Actuators A: Physical

巻, 号, ページ

Vol. 156 No. 2 pp. 366-372

出版年月

2009年12月

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI