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論文・著書情報


タイトル
和文:マイクロ温度センサを用いたIn-Situウェハ温度計測制御(第2報, MEMS技術を応用したセンサの試作) 
英文: 
著者
和文: 板東 賢一, 岩渕 修, 横田 眞一.  
英文: kenichi bandoh, 岩渕 修, SHINICHI YOKOTA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本機械学会論文集C編 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 75    No. 759    pp. 2942-2948
出版年月 2009年11月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
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英文: 
DOI https://doi.org/10.1299/kikaic.75.2942

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