非鉛圧電セラミックスを用いたバルブレスマイクロポンプの作製と評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	非鉛圧電セラミックスを用いたバルブレスマイクロポンプの作製と評価
英文:	Fabrication and Characterization of A Valveless Fluid Micropump Using Lead-Free Piezoelectric Ceramics

著者

和文:	吉村知浩, 保科拓也, 武田博明, 鶴見敬章.
英文:	Tomohiro Yoshimura, Takuya Hoshina, Hiroaki Takeda, takaaki tsurumi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

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巻, 号, ページ

出版年月

2009年12月

出版者

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会議名称

和文:	第19回日本MRS学術シンポジウム
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開催地

和文:	横浜市開港記念会館
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