Cylindrical ultrasonic linear microactuator based on quasi-traveling wave propagation on a thin film metallic glass pipe supported by a piezoelectric ceramic tube

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Cylindrical ultrasonic linear microactuator based on quasi-traveling wave propagation on a thin film metallic glass pipe supported by a piezoelectric ceramic tube

著者

和文:	孫東明, 汪盛, 秦誠一, 櫻井淳平, 下河邉明.
英文:	Dongming Sun, Sheng Wang, Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Sensors and Actuators, A: physical

巻, 号, ページ

Vol. 156 Page 359-365

出版年月

2009年12月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI