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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Design Optimization of MEMS(NEMS) Resonator by 3-D Anisotropic Thermoelastic Modeling 
著者
和文: 晏 超, 内田 建, 小田 俊理.  
英文: Chao Yan, Ken Uchida, Shunri Oda.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2009年10月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:G-COE PICE International Symposium on Silicon Nano Devices in 2030 
開催地
和文:東京 
英文:Tokyo 

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