Direct and dry micro-patterning of nano-particles by electrospray deposition through a micro-stencil mask

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Direct and dry micro-patterning of nano-particles by electrospray deposition through a micro-stencil mask

著者

和文:	金俊完, 山形豊, 金範埈, 樋口俊郎.
英文:	J-W Kim, Y Yamagata, B J Kim, T Higuchi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Micromechanics and Microengineering

巻, 号, ページ

Volume 19 Number 2 Page 025021 (9pp)

出版年月

2009年1月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI