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論文・著書情報


タイトル
和文:静電アクチュエータ用案内に関する基礎研究 
英文:Basic research of guide for electrostatic actuator 
著者
和文: 井上裕生, 佐藤海二.  
英文: Hiroki Inoue, Kaiji Sato.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2010年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 979-980
出版年月 2010年3月 
出版者
和文:精密工学会 
英文:The Japan Society for Precision Engineering 
会議名称
和文:2010年度精密工学会秋季大会学術講演会 
英文: 
開催地
和文:埼玉大学工学部 
英文: 

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