Control of an XY Nano-Positioning Table for a Compact Nano-Machine Tool

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Control of an XY Nano-Positioning Table for a Compact Nano-Machine Tool

著者

和文:	Guilherme Jorge MAEDA, 佐藤海二, Hitoshi HASHIZUME, 進士忠彦.
英文:	Guilherme Jorge MAEDA, KAIJI SATO, Hitoshi HASHIZUME, Tadahiko SHINSHI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	JSME International Journal Series C

巻, 号, ページ

Vol. 49 No. 1 pp. 21-27

出版年月

2006年3月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文:

DOI