Macroscopic Migration of Implanted Deuterium in Silicon

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Macroscopic Migration of Implanted Deuterium in Silicon

著者

和文:	片渕竜也, N. Kawachi, Y. Tagishi.
英文:	T. Katabuchi, N. Kawachi, Y. Tagishi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

1998年12月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	17th Symposium on Materials Science and Engineering Research Center of Ion Beam Technology

開催地

和文:
英文:	Hosei University, Japan, 16-17 December 1998