MEMS円形アクチュエータを用いたRF可変インダクタの検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	MEMS円形アクチュエータを用いたRF可変インダクタの検討
英文:	RF Variable Inductor with MEMS Circular Actuator

著者

和文:	白根篤史, 水落裕, 天川修平, 石原昇, 益一哉.
英文:	Atsushi Shirane, Yutaka Mizuochi, Shuhei Amakawa, Noboru Ishihara, Kazuya Masu.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第 57 回応用物理学関係連合講演会講演予稿集(2010 春東海大学)
英文:

巻, 号, ページ

pp. 13-248

出版年月

2010年3月

出版者

和文:	第 57 回応用物理学関係連合講演会講演予稿集(2010 春東海大学)
英文:

会議名称

和文:	第 57 回応用物理学関係連合講演会(2010 春東海大学)
英文:

開催地

和文:	神奈川県平塚市(東海大学)
英文: