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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Depth Profiling of Chemical Bonding States of Impurity Atoms and Their Correlation with Electrical Activity in Si Shallow Junctions 
著者
和文: 筒井一生, 星野憲文, 中川恭成, 田中正興, 野平博司, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 佐々木雄一朗, 水野文二, 服部健雄, 岩井洋.  
英文: KAZUO TSUTSUI, Norifumi Hoshino, Yasumasa Nakagawa, Masaoki Tanaka, Hiroshi Nohira, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, 佐々木雄一朗, Bunji Mizuno, takeo hattori, HIROSHI IWAI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2010年5月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:IEEE IWJT 2010 Extended Abstracts 2010 International Workshop on Junction Technology 
開催地
和文: 
英文:Shanghai, China 

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