Radio-frequency performance of a sub-100 nm metal-oxide field-effect transistor with high-k gate dielectric

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Radio-frequency performance of a sub-100 nm metal-oxide field-effect transistor with high-k gate dielectric

著者

和文:	角嶋邦之, M. Nakagawa, パールハットアヘメト, 筒井一生, 杉井信之, 服部健雄, 岩井洋.
英文:	Kuniyuki KAKUSHIMA, M. Nakagawa, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Semiconductor Science and Technology

巻, 号, ページ

Vol. 25 No. 4 045029

出版年月

2010年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI