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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
Interface and electrical properties of La-silicate for direct contact of high-k with silicon
著者
和文:
角嶋邦之
,
舘喜一
,
M.Adachi
,
岡本晃一
,
佐藤創志
,
宋在烈
,
川那子高暢
,
パールハットアヘメト
,
筒井一生
,
杉井信之
,
服部健雄
,
岩井洋
.
英文:
Kuniyuki KAKUSHIMA
,
Kiichi Tachi
,
M.Adachi
,
Koichi Okamoto
,
Soshi Sato
,
Jaeyeol Song
,
Takamasa Kawanago
,
Ahmet Parhat
,
KAZUO TSUTSUI
,
Nobuyuki Sugii
,
takeo hattori
,
HIROSHI IWAI
.
言語
Others
掲載誌/書名
和文:
英文:
Solid-State Electronics
巻, 号, ページ
Vol. 54 pp. 715-719
出版年月
2010年6月
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
開催地
和文:
英文:
DOI
https://doi.org/10.1016/j.sse.2010.03.005
©2007
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