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論文・著書情報


タイトル
和文:微細パターンを形成したシリコン表面におけるカーボンオニオンの潤滑特性 
英文: 
著者
和文: 稲葉武信, 平田敦.  
英文: Takenobu Inaba, ATSUSHI HIRATA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:精密工学会誌 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 76    No. 1    pp. 59-63
出版年月 2010年1月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 
DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.76.59

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