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論文・著書情報


タイトル
和文:真空アーク蒸着法による炭化タングステン膜の合成 
英文: 
著者
和文: 相澤孝一, 平田敦.  
英文: Kouichi Aizawa, ATSUSHI HIRATA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:精密工学会誌 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 76    No. 4    pp. 453-457
出版年月 2010年4月 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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