Home >

news ヘルプ

論文・著書情報


タイトル
和文:GeF4-Si2H6系を用いる熱CVDを用いたGe単結晶膜の形成 
英文: 
著者
和文: Cheol-hyun Lim, 半那純一.  
英文: Cheol hyun Lim, Jun-ichi Hanna.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第70回応用物理学会学術講演会講演予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2010年7月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第70回応用物理学会学術講演会 
英文: 
開催地
和文:富山 
英文: 

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.