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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Direct Fabrication of Poly-Si and SiGe Thin Films for TFT Applications 
著者
和文: 半那純一.  
英文: Jun-ichi Hanna.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:ECS Trsactions 
巻, 号, ページ        
出版年月 2009年7月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:2009 International Conference on Semiconductor Technology for Ultra Large Scale Integrated Curcits and Thin Ilm Trasistors 
開催地
和文: 
英文:Xian, China 

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