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論文・著書情報


タイトル
和文:MEMS用材料としての薄膜金属ガラスとその微細加工 
英文: 
著者
和文: 秦誠一, 櫻井淳平, 下河邉明.  
英文: SEIICHI HATA, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本鉄鋼協会第11回ヤングサイエンティストフォーラム講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 18-19
出版年月 2005年9月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第11回ヤングサイエンティストフォーラム 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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