Metallization for Integrated Circuits via Electroplating in Sc-CO2 Emulsion (Invited Lecture)

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Metallization for Integrated Circuits via Electroplating in Sc-CO2 Emulsion (Invited Lecture)

著者

和文:	曽根正人.
英文:	Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Advanced Metallization Conference 2010

巻, 号, ページ

pp. 62-63

出版年月

2010年10月

出版者

和文:
英文:	The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:
英文:	Advanced Metallization Conference 2010: 20th Asian Session

開催地

和文:
英文:	The Univ. of Tokyo, Tokyo