Deposition of DLC Films at Atmospheric Pressure by Nanopulse Plasma CVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Deposition of DLC Films at Atmospheric Pressure by Nanopulse Plasma CVD

著者

和文:	大竹尚登.
英文:	Naoto Ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Abstracts of APCPST&SPSM 2010

巻, 号, ページ

pp. 25

出版年月

2010年7月

出版者

和文:
英文:	The 10th Committee on APCPST

会議名称

和文:
英文:	The 10th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology and the 23rd Symposium on Plasma Science for Materials

開催地

和文:
英文:	Jeju,KOREA