Characteristics of metal-ferroelectric-insulator-semiconductor structure using Sr0.8Bi2.2Ta2O9 and Sr0.8Bi2.2Ta2O9-BaZrO3 for ferroelectric gates

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characteristics of metal-ferroelectric-insulator-semiconductor structure using Sr0.8Bi2.2Ta2O9 and Sr0.8Bi2.2Ta2O9-BaZrO3 for ferroelectric gates

著者

和文:	MEHMET S, クロスジェフリースコット, 石原宏, 篠崎和夫.
英文:	Mehmet S. Bozgeyik, J.S. Cross, H. Ishiwara, K. Shinozaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Microelectronic Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 87 No. 11 pp. 2173-2177

出版年月

2010年7月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI