Non-impact deposition for electrostatic micromanipulation of a conductive particle by a single probe

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Non-impact deposition for electrostatic micromanipulation of a conductive particle by a single probe

著者

和文:	齋藤滋規, Masaki Sonoda.
英文:	Shigeki Saito, Masaki Sonoda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Micromechanics and Microengineering

巻, 号, ページ

Vol. 18 pp. 107001(1-3)

出版年月

2008年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI