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論文・著書情報


タイトル
和文:発光分光計測を用いたプロセスプラズマの診断 
英文:Optical Emission Spectroscopy Measurement of Processing Plasmas 
著者
和文: 赤塚洋.  
英文: HIROSHI AKATSUKA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:電気学会論文誌A 基礎・材料・共通部門誌 
英文:IEEJ Trans. FM 
巻, 号, ページ Vol. 130    No. 10    pp. 892-898
出版年月 2010年10月 
出版者
和文:社団法人 電気学会 
英文:The INstitute of Electrical Engineers of Japan 
会議名称
和文: 
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開催地
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公式リンク http://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/130/10/130_892/_article/-char/ja/
 

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