Strain-Induced Back Channel Electron Mobility Enhancement in Poly-Si TFTs Formed by Continuous-Wave Laser Lateral Crystallization

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Strain-Induced Back Channel Electron Mobility Enhancement in Poly-Si TFTs Formed by Continuous-Wave Laser Lateral Crystallization

著者

和文:	藤井俊太朗, 黒木伸一郎, 小谷光司, 伊藤隆司.
英文:	Shuntaro Fujii, Shin-Ichiro Kuroki, Koji Kotani, Takashi Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	2010 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2010)

巻, 号, ページ

pp. 1307-1308

出版年月

2010年9月

出版者

和文:
英文:	2010 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2010)

会議名称

和文:
英文:	2010 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2010)

開催地

和文:
英文:	Tokyo