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論文・著書情報
タイトル
和文:
LaCe シリケート膜を用いたEOT<0.7nm の直接接合 high-k/Si の実現とフラットバンド電圧制御
英文:
著者
和文:
角嶋邦之
,
小柳友常
,
来山大祐
,
幸田みゆき
,
宋在烈
,
佐藤創志
,
川那子高暢
,
M. マイマイティ
,
舘喜一
,
M.K. Bera
,
パールハットアヘメト
,
野平博司
,
筒井一生
,
西山彰
,
杉井信之
,
名取研二
,
服部健雄
,
山田啓作
,
岩井洋
.
英文:
Kuniyuki KAKUSHIMA
,
Tomotsune Koyanagi
,
来山大祐
,
Miyuki Kouda
,
Jaeyeol Song
,
Soshi Sato
,
Takamasa Kawanago
,
M. マイマイティ
,
Kiichi Tachi
,
M.K. Bera
,
Ahmet Parhat
,
Hiroshi Nohira
,
KAZUO TSUTSUI
,
西山彰
,
Nobuyuki Sugii
,
KENJI NATORI
,
takeo hattori
,
Keisaku Yamada
,
HIROSHI IWAI
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
英文:
,野平博司,筒井一生,西山彰,杉井信之,名取研二,服部健雄,山田啓作,岩井洋“LaCe シリケート膜を用いたEOT<0.7nm の直接接合 high-k/Si の実現とフラットバンド電圧制御” 応用物理学会分科会 シリコンテクノロジー No.127 pp.4-8(2010年7月22日 )
巻, 号, ページ
No. 127 pp. 4-8
出版年月
2010年7月
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
応用物理学会分科会 シリコンテクノロジー
英文:
開催地
和文:
つくば市,産業技術総合研究所
英文:
©2007
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