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論文・著書情報


タイトル
和文:V型超音波モータを用いた高速高分解能ステージ 
英文: 
著者
和文: 阿隅一将, 福永了一, 稲田豊, 藤村健, 黒澤実.  
英文: Kazumasa Asumi, Ryoichi Fukunaga, 稲田豊, Takeshi Fujimura, Minoru Kuribayashi Kurosawa.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:超音波 TECHNO 
英文: 
巻, 号, ページ vol. 22    no. 3    pp. 62-65
出版年月 2010年3月 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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