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論文・著書情報


タイトル
和文:塩素ガスエッチングを用いた微細MOS Elevated Source/Drain プロセス 
英文: 
著者
和文: 杉野林志, Unsoon Kim, Kyunghoon Min, Ning Chen, Huaqiang Wu, Chungho Lee, Fred Cheung, Hiroyuki Kinoshita, 上西雅彦, 加藤寿, 多田新吾, 伊藤隆司.  
英文: Rinji Sugino, Unsoon Kim, Kyunghoon Min, Ning Chen, Huaqiang Wu, Chungho Lee, Fred Cheung, Hiroyuki Kinoshita, Masahiko Kaminishi, Hitoshi Kato, Shingo Tada, Takashi Ito.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:電子情報通信学会論文誌C 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. J91-C    No. 7    pp. 363-369
出版年月 2008年7月 
出版者
和文:(社)電子情報通信学会 
英文: 
会議名称
和文: 
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開催地
和文: 
英文: 
ファイル

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