Tantalum Nitride Sputtering Deposition with Xe on Fluorocarbon for Cu Interconnections

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Tantalum Nitride Sputtering Deposition with Xe on Fluorocarbon for Cu Interconnections

著者

和文:	根元鋼直, Imai Hiroshi, 寺本章伸, 伊藤隆司, 須川成利, 大見忠弘.
英文:	Takenao Nemoto, Hiroshi Imai, Akinobu Teramoto, Takashi Ito, Shigetoshi Sugawa, Tadahiro Ohmi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of The Electrochemical Society

巻, 号, ページ

Vol. 155 No. 5 pp. H323-H328

出版年月

2008年3月

出版者

和文:
英文:	The Electrochemical Society

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

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DOI