Effect of Additives in Organic Acid Solutions for Post-CMP Cleaning on Polymer Low-k Fluorocarbon

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of Additives in Organic Acid Solutions for Post-CMP Cleaning on Polymer Low-k Fluorocarbon

著者

和文:	Gu Xun, 根元鋼直, 寺本章伸, 伊藤隆司, 大見忠弘.
英文:	Xun Gu, Takenao Nemoto, Akinobu Teramoto, Takashi Ito, Tadahiro Ohmi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Electrochem. Soc.

巻, 号, ページ

Vol. 156 No. 6 pp. H409-H415

出版年月

2009年6月

出版者

和文:
英文:	J. Electrochem. Soc.

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

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