Inductively coupled plasma generator for an environmentally benign perfluorocarbon abatement system

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Inductively coupled plasma generator for an environmentally benign perfluorocarbon abatement system

著者

和文:	鈴木克昌, 石原良夫, 迫田薫, 白井泰雪, 寺本章伸, 平山昌樹, 大見忠弘, 渡辺高行, 伊藤隆司.
英文:	Katsumasa Suzuki, Yoshio Ishihara, Kaoru Sakoda, Yasuyuki Shirai, Akinobu Teramoto, Masaki Hirayama, Tadahiro Ohmi, Takayuki Watanabe, Takashi Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Vac. Sci. Technol. A

巻, 号, ページ

Vol. A27 No. 3 pp. 465-470

出版年月

2009年3月

出版者

和文:
英文:	J. Vac. Sci. Technol. A

会議名称

和文:
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開催地

和文:
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DOI