A Formation of Si Native Oxide Membrane Using High-Selectivity Etching and Application for Nano-Pipe Array and Micro-Diaphragm on Si Substrate

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Formation of Si Native Oxide Membrane Using High-Selectivity Etching and Application for Nano-Pipe Array and Micro-Diaphragm on Si Substrate

著者

和文:	杉野林志, 伊藤隆司.
英文:	Rinji Sugino, Takashi Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Technical Digest of International Electron Devices Meeting (IEDM2006)

巻, 号, ページ

Vol. 19.6.1 pp. 529-532

出版年月

2006年12月

出版者

和文:
英文:	Technical Digest of International Electron Devices Meeting (IEDM2006)

会議名称

和文:
英文:	Technical Digest of International Electron Devices Meeting (IEDM2006)

開催地

和文:
英文:	San Francisco, CA, USA