Micro- and Nano-Cavity Formation on Silicon by   Using A Very Thin Native-Oxide Membrane

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Micro- and Nano-Cavity Formation on Silicon by Using A Very Thin Native-Oxide Membrane

著者

和文:	伊藤隆司, 杉野林志.
英文:	Takashi Ito, Rinji Sugino.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The 7th International Symposium on Electrochemical Micro & Nano system Technologies(EMNT2008)

巻, 号, ページ

p. 81

出版年月

2008年9月

出版者

和文:
英文:	The 7th International Symposium on Electrochemical Micro & Nano system Technologies(EMNT2008)

会議名称

和文:
英文:	The 7th International Symposium on Electrochemical Micro & Nano system Technologies(EMNT2008)

開催地

和文:
英文:	Ein Gedi, Israel