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論文・著書情報


タイトル
和文:窒素導入によるSiナノワイヤ内へのNiシリサイド侵入抑制機構の検討 
英文: 
著者
和文: 小山 将央, 茂森直登, 佐藤創志, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 西山彰, 筒井一生, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋.  
英文: 小山 将央, Naoto Shigemori, Soshi Sato, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, 西山彰, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2010年9月 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第７１回応用物理学会学術講演会 
英文: 
開催地
和文:長崎大学 
英文: 

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