An ultrasonically levitated non-contact sliding table with the traveling vibrations on fine-ceramic beams

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	An ultrasonically levitated non-contact sliding table with the traveling vibrations on fine-ceramic beams

著者

和文:	小山大介, Takeshi Ide, ＦＲＩＥＮＤ JAMES, 中村健太郎, 上羽貞行.
英文:	Daisuke Koyama, Takeshi Ide, James R. Friend, Kentaro Nakamura, Sadayuki Ueha.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. 2005 IEEE Ultrasonics Symposium

巻, 号, ページ

Vol. 3 pp. 1538-1541

出版年月

2005年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2005 IEEE Ultrasonics Symposium

開催地

和文:
英文:	Rotterdam, The Netherlands

DOI