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論文・著書情報


タイトル
和文:MEMS技術を用いた管路形ECFマイクロポンプ 
英文: 
著者
和文: グェン ヴィン ソン タン, 金 俊完, 横田眞一, 枝村 一弥.  
英文: Vinh Xuan Thanh Nguyen, Joon-wan KIM, SHINICHI YOKOTA, Kazuya Edamura.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会2010講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         CD-rom, 1P1-B05
出版年月 2010年6月 
出版者
和文:日本機械学会 
英文: 
会議名称
和文:日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会2010 
英文: 
開催地
和文:旭川市 
英文: 

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