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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:A self-running ultrasonically levitated 2D stage using flexural vibration plates 
著者
和文: 小山 大介, 中村 健太郎.  
英文: Daisuke Koyama, Kentaro Nakamura.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Physics Procedia 
巻, 号, ページ Vol. 3    1    1047-1052
出版年月 2010年1月 
出版者
和文: 
英文:Elsevier 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
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英文: 

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