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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Uniaxial Stress Engineering in (100) and (110) CMOS Transistors 
著者
和文: 内田 建, M. Saitoh.  
英文: K. Uchida, M. Saitoh.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2009年1月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:Physics and Chemistry of Surfaces and Interfaces (PCSI-36) 
開催地
和文: 
英文:Santa Barbara, CA, USA 

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