熱ナノインプリントにおけるレジスト形状の時間変形解析I（シミュレーション） | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	熱ナノインプリントにおけるレジスト形状の時間変形解析I（シミュレーション）
英文:

著者

和文:	大西有希, 岩崎拓也, 入江康郎, 西畑雅由, 平井義彦.
英文:	YUKI ONISHI, 岩崎拓也, 入江康郎, 西畑雅由, 平井義彦.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
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巻, 号, ページ

出版年月

2007年

出版者

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会議名称

和文:	第67回応用物理学会学術講演会
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開催地

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