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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Effects of Metal Layer Insertion on EOT scaling in TiN/Metal/ La2O3 Si High –k Gate Stacks 
著者
和文: パールハットアヘメト, 来山大祐, 金田翼, 鈴木 拓也, 小柳友常, 幸田みゆき, マイマイティ マイマイティレャアティ, 川那子高暢, 角嶋邦之, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋.  
英文: Ahmet Parhat, 来山大祐, 金田翼, 鈴木 拓也, Tomotsune Koyanagi, Miyuki Kouda, マイマイティ マイマイティレャアティ, Takamasa Kawanago, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2011年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:,219th ECS Meeting 
開催地
和文: 
英文:Montreal 

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